Rafstýring í TPM5 seríunni
-
Rafstýring í TPM5 seríunni
Aflstýringin í TPM5 seríunni notar hönnunarhugmyndina fyrir einingar og samþættir allt að 6 rafrásir. Vörurnar eru aðallega notaðar í dreifiofnum, PECVD, epitaxíuofnum o.s.frv.