Spúttandi aflgjafi
-
MSB serían aflgjafi fyrir miðlungs tíðni sputtering
RHH serían af RF aflgjafar byggir á þroskaðri RF framleiðslutækni til að veita viðskiptavinum RF aflgjafa með meiri afli, meiri nákvæmni og hraðari svörun. Hægt er að stilla fasa, stjórna púls, stafrænni stillingu og öðrum aðgerðum. Notkunarsvið: sólarorkuiðnaður, flatskjáiðnaður, hálfleiðaraiðnaður, efnaiðnaður, rannsóknarstofur, vísindarannsóknir, framleiðsla o.s.frv.
Viðeigandi ferli: plasma-aukið efnagufuútfelling (PECVD), plasmaetsun, plasmahreinsun, útvarpsbylgjujónagjafi, plasmadreifing, plasmafjölliðunarspúttrun, hvarfgjörn spúttrun o.s.frv.
-
MSD serían aflgjafi fyrir sputtering
MSD serían aflgjafar fyrir jafnstraumsspúttingu nota grunn jafnstraumsstýrikerfi fyrirtækisins ásamt framúrskarandi rafbogavinnslukerfi, sem gerir vöruna mjög stöðuga, áreiðanlega, með litlar rafbogaskemmdir og góða endurtekningarhæfni í ferlinu. Skjáviðmótið er kínverskt og enskt og auðvelt í notkun.