RHH röð RF aflgjafa treystir á þroskaða RF kynslóð tækni til að veita viðskiptavinum RF aflgjafa með meiri krafti, meiri nákvæmni og hröðum viðbrögðum.Með fasa er hægt að stilla, púlsstýranlegur, stafræn stilling og aðrar aðgerðir.Gildandi svið: Ljósvökvaiðnaður, flatskjáriðnaður, hálfleiðaraiðnaður, efnaiðnaður, rannsóknarstofa, vísindarannsóknir, framleiðsla osfrv.
Viðeigandi ferli: Plasma aukin efnagufuútfelling (PECVD), plasmaæting, plasmahreinsun, útvarpsbylgjujónagjafi, plasmadreifing, plasma fjölliðunarsputtering, hvarfgjarn sputtering o.fl.