RF aflgjafi
-
RLS Series RF aflgjafi
RLS röð RF aflgjafinn samþykkir núverandi stöðuga og áreiðanlega aflmagnara og kjarna DC stýrikerfi fyrirtækisins, þannig að varan hefur mjög stöðugan árangur og mikla vöruáreiðanleika. Samþykkja kínverska og enska skjáviðmót, auðvelt í notkun. Aðallega notað í ljósvakaiðnaði, flatskjáiðnaði, hálfleiðaraiðnaði, efnaiðnaði, rannsóknarstofu, vísindarannsóknum, framleiðslu osfrv.
-
RMA Series Matchers
Það er hægt að aðlaga að RLS röð RF aflgjafa og er mikið notað í plasma ætingu, húðun, plasma hreinsun, plasma degumming og öðrum ferlum. Þegar það er notað eitt sér er hægt að nota það ásamt RF aflgjafa annarra framleiðenda.
-
RHH Series RF aflgjafi
RHH röð RF aflgjafa treystir á þroskaða RF kynslóð tækni til að veita viðskiptavinum RF aflgjafa með meiri krafti, meiri nákvæmni og hröðum viðbrögðum. Með fasa er hægt að stilla, púlsstýranlegur, stafræn stilling og aðrar aðgerðir. Gildandi svið: Ljósvökvaiðnaður, flatskjáriðnaður, hálfleiðaraiðnaður, efnaiðnaður, rannsóknarstofa, vísindarannsóknir, framleiðsla osfrv.
Viðeigandi ferli: Plasma aukin efnagufuútfelling (PECVD), plasmaæting, plasmahreinsun, útvarpsbylgjujónagjafi, plasmadreifing, plasma fjölliðunarsputtering, hvarfgjarn sputtering o.fl.