MSB Series Medium Frequency Sputtering Power Supply

Stutt lýsing:

MSB röðin byggir á framúrskarandi bylgjumótunartækni sinni til að gefa út DC, DC púls, tvíátta ferhyrningsbylgju, tvíátta trapisubylgju og önnur bylgjuform.Varan hefur stillanleg úttaksbylgjulögun, valanlega úttakstíðni, stillanlega vinnulotu og nákvæma aflstýringu.Eins og lítill orkugeymsla og hröð ljósbogasvörun.Veita þægilega og nákvæma stjórn fyrir húðunarferlið.Vörurnar eru aðallega notaðar í ýmsum þunnfilmuframleiðsluferlum, sólarselluiðnaði og tómarúmhúðunariðnaði;umsóknarferlar: segulómsputtering ferli, tvímarks sputtering og pípulaga PECVD.

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Sendu tölvupóst til okkar

Eiginleikar

Uppsetning rekki
Hröð bogasvörun, viðbragðstími<100ns
Lág orkugeymsla, <0,5mJ/ KW
Fjölfasa fléttuð PFC tækni, aflstuðullinn er allt að 0,95
Hægt er að velja ýmsar úttaksstillingar, samfellda og hléaham
Inverter hringrás samþykkir fulla mjúka rofatækni og notar þriðju kynslóðar hálfleiðara SiC sem aflbúnað, með framúrskarandi skilvirkni
Nákvæm ljósbogagreining, margar vöktunaraðferðir í boði