MSB Series Medium Frequency Sputtering Power Supply

Stutt lýsing:

RHH röð RF aflgjafa treystir á þroskaða RF kynslóð tækni til að veita viðskiptavinum RF aflgjafa með meiri krafti, meiri nákvæmni og hröðum viðbrögðum.Með fasa er hægt að stilla, púlsstýranlegur, stafræn stilling og aðrar aðgerðir.Gildandi svið: Ljósvökvaiðnaður, flatskjáriðnaður, hálfleiðaraiðnaður, efnaiðnaður, rannsóknarstofa, vísindarannsóknir, framleiðsla osfrv.

Viðeigandi ferli: Plasma aukin efnagufuútfelling (PECVD), plasmaæting, plasmahreinsun, útvarpsbylgjujónagjafi, plasmadreifing, plasma fjölliðunarsputtering, hvarfgjarn sputtering o.fl.

Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Sendu tölvupóst til okkar

Eiginleikar

● Hálfmúrsteinn og rekki festingarstíll

● Samþykkja fulla stafræna stjórn, með þægilegum og ríkum aðgerðavalmynd

● Tíðnistillingar, púls og púls samstillingaraðgerðir

● Með CEX fasa samstillingu virka

● Fullkomin verndaraðgerð

Upplýsingar um vöru

Inntak	Inntaksspenna: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (hægt að aðlaga sérstakar upplýsingar)
Inntak	Inntakstíðni: 47~63Hz
Framleiðsla	Úttakstíðni: 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
	Stillingarsvið: ±5%
	Úttaksstyrkur: 1,5 ~ 5kW
	Reglusvið framleiðsluafls: 1 ~ 100%
	Útgangsviðnám: 50Ω+j0
	Úttaksviðmót: tegund N
	Úttaksstilling: samfelld, púls
	Púlstíðni: 100Hz ~ 100kHz
	Vinnulota: 5 ~ 95%
Árangursvísitala	Aflstuðull: 0,98
	Tíðnistöðugleika nákvæmni: ±0,005%
	Nýtni: 75% (við nafnafköst)
	Harmónískt: ＜-45dBc
	Flæking: ＜-50dBc
	Ytra stjórnviðmót: hliðstætt magn, samskipti og samstilling
	Samskiptahamur: Venjulegt RS485 samskiptaviðmót;Valfrjálst Ether CAT, iðnaðar Ethernet osfrv.
Athugið: varan heldur áfram að þróast og árangur heldur áfram að batna.Þessi færibreytulýsing er aðeins til viðmiðunar.