Afgreiðsla
Fáðu innsýn og flýttu fyrir þróunarferlinu.
Advanced Energy afhendir aflgjafa og stýrilausnir fyrir mikilvægar þunnfilmuútfellingar og rúmfræði tækja.Til að leysa áskoranir um oblátavinnslu, gera nákvæmni raforkubreytingarlausnir okkar þér kleift að hámarka aflnákvæmni, nákvæmni, hraða og endurtekningarhæfni vinnslu.
Við bjóðum upp á breitt úrval af RF tíðni, DC raforkukerfi, sérsniðin aflmagn, samsvarandi tækni og ljósleiðarahitaeftirlitslausnir sem gera þér sannarlega kleift að stjórna plasmaferlinu betur.Við samþættum einnig Fast DAQ™ og gagnaöflun og aðgengissvítuna okkar til að veita innsýn í ferla og flýta fyrir þróunarferlinu.
Lærðu meira um hálfleiðaraframleiðsluferla okkar til að finna lausnina sem hentar þínum þörfum.
Áskorun þín
Allt frá kvikmyndum sem notaðar eru til að mynstra samþættum hringrásarvíddum til leiðandi og einangrandi kvikmynda (rafmagnsbyggingar), til málmfilma (samtengingar), krefjast útfellingarferlar þínir stjórnunar á atómstigi - ekki aðeins fyrir hvern eiginleika heldur yfir alla oblátuna.
Fyrir utan uppbygginguna sjálfa verða afhentar kvikmyndir þínar að vera hágæða.Þeir þurfa að hafa æskilega kornabyggingu, einsleitni og samræmda þykkt og vera tómarúmslausir - og það er auk þess að veita nauðsynlega vélræna álag (þjöppun og tog) og rafmagns eiginleika.
Flækjustigið heldur bara áfram að aukast.Til að takast á við takmarkanir á steinþrykk (undir-1X nm hnútar), þarf sjálfstillt tvöfaldur og fjórfaldur mynstursaðferðir útsetningarferlið þitt til að framleiða og endurskapa mynstrið á hverri oblátu.
Lausnin okkar
Þegar þú setur upp mikilvægustu útsetningarforritin og rúmfræði tækjanna þarftu áreiðanlegan markaðsleiðtoga.
RF aflgjafar Advanced Energy og háhraða samsvörunartækni gera þér kleift að sérsníða og fínstilla aflnákvæmni, nákvæmni, hraða og endurtekningarnákvæmni ferla sem þarf fyrir alla háþróaða PECVD og PEALD útfellingarferla.
Notaðu DC rafala tæknina okkar til að fínstilla stillanleg ljósbogaviðbrögð, aflnákvæmni, hraða og endurtekningarnákvæmni ferli sem krafist er PVD (spúttunar) og ECD útfellingarferla.
Kostir
● Aukinn plasmastöðugleiki og endurtekningarhæfni ferla eykur ávöxtun
● Nákvæm RF og DC sending með fullri stafrænni stjórn hjálpar til við að hámarka skilvirkni ferlisins
● Hröð viðbrögð við plasmabreytingum og ljósbogastjórnun
● Multi-level pulsing með aðlagandi tíðnistillingu bætir ætunarhraða sértækni
● Alheimsstuðningur í boði til að tryggja hámarks spennutíma og vöruafköst